山崎 登志成 (ヤマザキ トシナリ)

YAMAZAKI Toshinari

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職名

准教授

生年

1953年03月

研究室住所

富山市五福3190

研究分野・キーワード

ガスセンサー,ナノ粒子,酸化物半導体,スパッタ

研究室電話

076-445-6882

研究室FAX

076-445-6882

出身大学 【 表示 / 非表示

  •  
    -
    1975年03月

    名古屋大学   工学部   応用物理学科   卒業

出身大学院 【 表示 / 非表示

  •  
    -
    1980年03月

    名古屋大学  工学研究科  応用物理学専攻  博士課程  単位取得満期退学

取得学位 【 表示 / 非表示

  • 1983年03月 -  工学博士  名古屋大学

学内職務経歴 【 表示 / 非表示

  • 2006年04月
    -
    継続中

    富山大学   大学院理工学研究部   ナノ・新機能材料学域   ナノマテリアル・システムデザイン学系   准教授  

  • 2005年10月
    -
    継続中

    富山大学   工学部   電気電子システム工学科   准教授  

学外略歴 【 表示 / 非表示

  • 1983年02月
    -
    1987年04月

      東芝   集積回路事業部   職員(技術系)

所属学会・委員会 【 表示 / 非表示

  • 2007年04月
    -
    継続中
     

    電気化学会

  • 1998年04月
    -
    継続中
     

    真空学会

  • 1987年05月
    -
    継続中
     

    応用物理学会

専門分野(科研費分類) 【 表示 / 非表示

  • 薄膜・表面界面物性

  • 電子・電気材料工学

 

研究概要 【 表示 / 非表示

  • スパッタ膜は様々な技術分野で利用されるが,広い基板面積上で膜厚や組成が均一であることが要求される.膜厚や組成の分布に影響を与える要素として原子の放出角度分布,スパッタ装置の幾何学構造,放電ガスによるスパッタ原子の散乱などが考えられ,それらの効果について研究している.
    半導体ガスセンサーは既に広く用いられている家庭用のガス漏れ警報器の他,NO2やH2Sなど環境汚染ガスのモニター,水素ガスの検出器などとして利用されており,スパッタ膜や各種の方法で作成したナノ粒子を用いたセンサーの開発,動作の解明を行っている.

論文 【 表示 / 非表示

  • Structure and H2 sensing property of TiO2 sputtered films deposited under various discharge gas pressures

    Dan Meng, Toshinari Yamazaki, Toshio Kikuta, Yasuhiko Nagata

    Sens. Mater.   24 ( 8 ) 443 - 455   2012年11月

    共著

  • Polarization reversal in TGS after application of transverse electric field

    T.Kikuta T.Yamazaki B. Fugiel

    Joint International Symposium ISFD-11-RCBJSF     2012年08月

    共著

  • Degree of order by X-ray crystal structure analysis with Cu target in TGS

    Y. Yamashita T. Kikuta T. Yamazaki

    Joint International Symposium ISFD-11-RCBJSF     2012年08月

    共著

  • Calorimetric study of triglycine sulfate after prolonged application of transverse electric field

    Nor Ikram Bin Mohamad Noor, Toshio Kikuta, Toshinari Yamazaki, Boguslaw Fugiel

    Ferroelectrics   430 ( 1 ) 30 - 35   2012年06月

    共著

  • Influence of prolonged application of transverse electric field on remanent polarization in Rochelle salt

    T. Kikuta, T. Yamazaki, B. Fugiel

    Ferroelectrics   430 ( 1 ) 20 - 29   2012年01月

    共著

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著書 【 表示 / 非表示

  • Nanowires: Implementations and Applications

    S. Dhara, P. Hu, I. Sisman, Q. Wang (担当: 単著 )

    INTECH open access publisher  2011年04月

総説・解説記事 【 表示 / 非表示

  • スパッタ原子輸送シミュレーションの応用

    山崎登志成,吉澤寿夫

    Journal of Vacuum Society of Japana ( 真空学会 )    2006年09月

    総説・解説(その他)   共著

工業所有権 【 表示 / 非表示

  • ガスセンサーおよびその製造方法

    特願 2007-133252 

    隆志甫,山崎登志成

  • 複合鋳鉄部材の製造方法

    特願 2005-252223 

    山崎登志成,山本隆光,小谷裕一

  • 複合鋳鉄部材とその製造方法

    特願 2003-161603 

    山崎登志成,山本隆光

  • スパッタリングターゲット

    特許 1647623

    川口達三,山崎登志成

  • 合金膜の形成方法

    特許 1647623

    山崎登志成,奥村勝弥

学術関係受賞 【 表示 / 非表示

  • Best Poster Award

    2011年07月08日   真空学会  

    受賞者:  山崎登志成,木田隆之,喜久田寿郎,酒谷淳寛,高安勇吉

  • 高温学会論文賞

    2000年05月15日   高温学会  

    受賞者:  島崎俊治,山崎登志成,寺山清志,吉村昌弘

研究発表 【 表示 / 非表示

  • 強誘電軸に垂直な電場による分極反転への影響

    2012年度日本物理学会北陸支部定例学術講演会  2012年12月  -  2012年12月   

  • 硫酸グリシンのX線結晶構造解析による秩序度

    2012年度日本物理学会北陸支部定例学術講演会  2012年12月  -  2012年12月   

  • マグネトロンスパッタ法による金属膜の膜厚分布

    応用物理学会 北陸・信越支部 学術講演会  2012年11月  -  2012年11月   

  • 強誘電軸に垂直な電場による強誘電性への影響6

    日本物理学会2012年秋季大会  2012年09月  -  2012年09月   

  • X線構造解析から求めた硫酸グリシンの秩序度II

    日本物理学会2012年秋季大会  2012年09月  -  2012年09月   

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共同研究希望テーマ 【 表示 / 非表示

  • スパッタ膜堆積に関する生産技術的研究

  • 半導体ガスセンサーに関する研究

 

担当授業科目(学内) 【 表示 / 非表示

  • 2016年10月
    -
    2017年03月

    電子物性工学3  (2016年度)  専任

  • 2016年10月
    -
    2017年03月

    基礎物性工学特論第2  (2016年度)  専任

  • 2016年04月
    -
    2017年03月

    電気電子システム工学特別研究  (2016年度)  専任

  • 2016年04月
    -
    2016年09月

    情報処理  (2016年度)  専任

  • 2016年04月
    -
    2016年09月

    ナノ新機能物質科学特別研究  (2016年度)  専任

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教育活動に関する受賞 【 表示 / 非表示

  • 感謝状

    2009年04月   中国大使館