基本情報

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山崎 登志成

YAMAZAKI Toshinari


職名

准教授

生年

1953年03月

研究室住所

富山市五福3190

研究分野・キーワード

ガスセンサー,ナノ粒子,酸化物半導体,スパッタ

研究室電話

076-445-6882

研究室FAX

076-445-6882

出身大学 【 表示 / 非表示

  • 名古屋大学  工学部  応用物理学科

    大学,1975年03月,卒業,日本国

出身大学院 【 表示 / 非表示

  • 名古屋大学  工学研究科  応用物理学専攻

    博士課程,1980年03月,単位取得満期退学,日本国

取得学位 【 表示 / 非表示

  • 工学博士,名古屋大学,1983年03月

学内職務経歴 【 表示 / 非表示

  • 富山大学 大学院理工学研究部 ナノ・新機能材料学域 ナノマテリアル・システムデザイン学系,准教授,2006年04月 ~ 継続中

  • 富山大学 工学部 電気電子システム工学科,准教授,2005年10月 ~ 継続中

学外略歴 【 表示 / 非表示

  • 東芝 集積回路事業部,職員(技術系),1983年02月 ~ 1987年04月

所属学会・委員会 【 表示 / 非表示

  • 電気化学会,2007年04月 ~ 継続中,日本国

  • 真空学会,1998年04月 ~ 継続中,日本国

  • 応用物理学会,1987年05月 ~ 継続中,日本国

専門分野(科研費分類) 【 表示 / 非表示

  • 薄膜・表面界面物性

  • 電子・電気材料工学

 

研究概要 【 表示 / 非表示

  • スパッタ膜は様々な技術分野で利用されるが,広い基板面積上で膜厚や組成が均一であることが要求される.膜厚や組成の分布に影響を与える要素として原子の放出角度分布,スパッタ装置の幾何学構造,放電ガスによるスパッタ原子の散乱などが考えられ,それらの効果について研究している.
    半導体ガスセンサーは既に広く用いられている家庭用のガス漏れ警報器の他,NO2やH2Sなど環境汚染ガスのモニター,水素ガスの検出器などとして利用されており,スパッタ膜や各種の方法で作成したナノ粒子を用いたセンサーの開発,動作の解明を行っている.

論文 【 表示 / 非表示

  • Structure and H2 sensing property of TiO2 sputtered films deposited under various discharge gas pressures,Sens. Mater.,24巻 8号 (頁 443 ~ 455) ,2012年11月,Dan Meng, Toshinari Yamazaki, Toshio Kikuta, Yasuhiko Nagata

    研究論文(学術雑誌),共著

  • Polarization reversal in TGS after application of transverse electric field ,Joint International Symposium ISFD-11-RCBJSF,2012年08月,T.Kikuta T.Yamazaki B. Fugiel

    研究論文(国際会議プロシーディングス),共著

  • Degree of order by X-ray crystal structure analysis with Cu target in TGS,Joint International Symposium ISFD-11-RCBJSF,2012年08月,Y. Yamashita T. Kikuta T. Yamazaki

    研究論文(国際会議プロシーディングス),共著

  • Calorimetric study of triglycine sulfate after prolonged application of transverse electric field ,Ferroelectrics,430巻 1号 (頁 30 ~ 35) ,2012年06月,Nor Ikram Bin Mohamad Noor, Toshio Kikuta, Toshinari Yamazaki, Boguslaw Fugiel

    研究論文(学術雑誌),共著

  • Influence of prolonged application of transverse electric field on remanent polarization in Rochelle salt,Ferroelectrics,430巻 1号 (頁 20 ~ 29) ,2012年01月,T. Kikuta, T. Yamazaki, B. Fugiel

    研究論文(学術雑誌),共著

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著書 【 表示 / 非表示

  • Nanowires: Implementations and Applications,INTECH open access publisher,2011年04月,S. Dhara, P. Hu, I. Sisman, Q. Wang

    単行本(学術書),単著

総説・解説記事 【 表示 / 非表示

  • スパッタ原子輸送シミュレーションの応用,真空学会,Journal of Vacuum Society of Japana,2006年09月,山崎登志成,吉澤寿夫

    総説・解説(その他),共著

工業所有権 【 表示 / 非表示

  • 特許,ガスセンサーおよびその製造方法,隆志甫,山崎登志成

    出願番号( 2007-133252,2007年05月18日 ) ,日本国

  • 特許,複合鋳鉄部材の製造方法,山崎登志成,山本隆光,小谷裕一

    出願番号( 2005-252223,2005年08月31日 ) ,日本国

  • 特許,複合鋳鉄部材とその製造方法,山崎登志成,山本隆光

    出願番号( 2003-161603,2003年06月06日 ) ,日本国

  • 特許,スパッタリングターゲット,川口達三,山崎登志成

    登録番号( 1647623,1993年01月01日 ) ,日本国,あり

  • 特許,合金膜の形成方法,山崎登志成,奥村勝弥

    登録番号( 1647623,1992年03月01日 ) ,日本国,あり

学術関係受賞 【 表示 / 非表示

  • Best Poster Award,2011年07月08日,日本国,国際学会・会議・シンポジウム等の賞,真空学会,山崎登志成,木田隆之,喜久田寿郎,酒谷淳寛,高安勇吉

  • 高温学会論文賞,2000年05月15日,日本国,学会誌・学術雑誌による顕彰,高温学会,島崎俊治,山崎登志成,寺山清志,吉村昌弘

研究発表 【 表示 / 非表示

  • 2012年度日本物理学会北陸支部定例学術講演会,国内会議,2012年12月,強誘電軸に垂直な電場による分極反転への影響,口頭(一般)

  • 2012年度日本物理学会北陸支部定例学術講演会,国内会議,2012年12月,硫酸グリシンのX線結晶構造解析による秩序度,口頭(一般)

  • 応用物理学会 北陸・信越支部 学術講演会,国内会議,2012年11月,マグネトロンスパッタ法による金属膜の膜厚分布,口頭(一般)

  • 日本物理学会2012年秋季大会,国内会議,2012年09月,強誘電軸に垂直な電場による強誘電性への影響6,口頭(一般)

  • 日本物理学会2012年秋季大会,国内会議,2012年09月,X線構造解析から求めた硫酸グリシンの秩序度II,口頭(一般)

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共同研究希望テーマ 【 表示 / 非表示

  • スパッタ膜堆積に関する生産技術的研究,産学連携、民間を含む他機関等との共同研究等を希望する,共同研究

  • 半導体ガスセンサーに関する研究,産学連携、民間を含む他機関等との共同研究等を希望する,共同研究

 

担当授業科目 【 表示 / 非表示

  • 2016年度,基礎物性工学特論第2,2016年10月 ~ 2017年03月,専任

  • 2016年度,電子物性工学3,2016年10月 ~ 2017年03月,専任

  • 2016年度,電気電子システム工学特別研究,2016年04月 ~ 2017年03月,専任

  • 2016年度,ナノ新機能物質科学特別研究,2016年04月 ~ 2016年09月,専任

  • 2016年度,ナノ新機能物質科学特別演習,2016年04月 ~ 2016年09月,専任

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教育活動に関する受賞 【 表示 / 非表示

  • 感謝状,2009年04月,中国大使館